초정밀 듀얼 스테이지를 위한 고댐핑 저진동 제어기 개발

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@article{724dc30b159742a8932d493c54393873,

title = "초정밀 듀얼 스테이지를 위한 고댐핑 저진동 제어기 개발",

author = "Kim, {Jung Han}",

year = "2016",

month = feb,

doi = "10.7735/ksmte.2016.25.1.75",

language = "Korean",

volume = "25",

journal = "한국생산제조학회지",

issn = "2508-5093",

publisher = "한국생산제조학회",

number = "1",

}