RF Sputtering법에 의한 산화주석 박막의 진공 열처리 효과

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title = "RF Sputtering법에 의한 산화주석 박막의 진공 열처리 효과",

author = "Kim, {Sung Dong}",

year = "2011",

month = jul,

language = "Korean",

volume = "48",

journal = "한국세라믹학회지",

issn = "1229-7801",

publisher = "한국세라믹학회",

number = "4",

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